氮化硅(Si₃N₄)

项目

名称

数值

单位

机械性能

颜色

黑色

密度

3.2

g/cm³

弯曲强度

750

MPa

抗压强度

3,800

MPa

弹性模量

290

GPa

断裂韧性

6.7

MPam^1/2

韦伯系数

15

M

维氏硬度

1,700

HV0.5

热学性能

线膨胀系数

2.8

10^-6K^-1

热导率

20

W/mK

抗热冲击温度（水冷却）

750

∆T°C

最高使用温度

1,300

°C

电性能

体积电阻,20℃

>10¹⁴

Ωcm

介电强度

10×10⁶

V/m

介电常数

-

ε_r

介电损耗角,20℃

-

tanδ

耐化学腐蚀性能

硝酸，浓度60%，90°C

1

WTLossmg/cm²/day

硫酸，浓度95%，95°C

≒0.00

氢氧化铝浓度30%，80°C

0.2